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정밀공구가공 PAD 사포 자동화 PAD Automated Sanding

본문

공정요약 : PAD 투입 트레이 → 6축 로봇 픽업 → 1차 사이드 사포 가공 → 2차 회전 연마 → 완성품 배출 트레이
주요구성 : 6축 로봇 + 사이드 사포 기구 + 회전 연마 척 + 투명 안전 커버 셀 + HMI 제어 패널
적용효과 : CMP PAD 연마 전 공정 무인화 / 1·2차 공정 자동 순환 / 투명 커버로 내부 실시간 확인

공정 요약

✔ PAD 투입 트레이 → 6축 로봇 픽업 → 1차 사이드 사포 → 2차 회전 연마 → 완성품 배출 전 공정 완전 자동화
✔ 6축 로봇이 투명 안전 커버 셀 내부에서 1·2차 가공 스테이션 간 자동 이송 처리
✔ 투명 안전 커버로 내부 공정 실시간 육안 확인 가능 — 정지 없이 상태 모니터링

공정 흐름

PAD 투입

트레이 적재

›

로봇 픽업

6축 로봇 이송

›

1차 사이드 사포

측면 연마 가공

›

2차 회전 연마

표면 정밀 연마

›

완성품 배출

트레이 자동 적재

주요 구성요소

6축 산업용 로봇 투명 안전 커버 셀 내부에 설치된 6축 다관절 로봇이 투입 트레이에서 CMP PAD를 진공 석션으로 픽업해 1·2차 가공 스테이션으로 자동 이송합니다. 청색 공압 배관이 팔을 따라 배선됩니다. 핸들링 / 이송	1차 가공부 — 사이드 사포 기구 공압 실린더로 가압하는 연마 벨트/사포 기구가 회전하는 CMP PAD 측면에 밀착해 균일하게 연마합니다. 2축 슬라이드로 접촉 위치와 압력을 정밀 제어하며, 가공 중 칩·분진이 발생합니다. 측면 연마 / 1차 가공
2차 가공부 — 회전 연마 척 회전 척에 고정된 CMP PAD 표면을 회전 연마 헤드로 정밀 가공합니다. 모터 구동 회전 척(검정색 원형, 직경 약 300mm)이 PAD를 클램핑하고, 연마 헤드가 표면 전체를 균일하게 처리합니다. 표면 연마 / 2차 가공	PAD 투입·배출 트레이 검은색 아노다이징 알루미늄 트레이(12개 슬롯)가 리니어 레일 위에서 좌우 이송됩니다. 투입 트레이(좌측)와 완성품 배출 트레이(우측)가 독립 운용되며, 로봇과 연동해 자동 순환합니다. 투입 / 배출 이송
투명 안전 커버 셀 알루미늄 프로파일 프레임에 투명 아크릴/PC 패널을 장착한 안전 커버 셀입니다. 가공 중 내부 상태를 외부에서 실시간 육안 확인 가능하며, 슬라이딩 도어로 접근합니다. 안전 / 구조	HMI 통합 제어 패널 아암 마운트형 터치스크린 HMI에서 모터 주파수·슬라이드 위치·토크값·공정 단계를 실시간 모니터링합니다. 비상 정지(적색)·전원·운전 버튼과 키보드가 외부 조작 패널에 통합됩니다. 제어 / 모니터링

도입 효과 및 적용 분야

도입 효과

✔ 투입·1차·2차 가공·배출 전 공정 무인화
✔ 1·2차 공정 로봇 자동 순환 — 연속 운전
✔ 투명 커버로 내부 공정 실시간 확인
✔ 균일한 PAD 연마 품질 — 작업자 개입 제로
✔ 트레이 단위 배치 처리로 생산성 극대화

적용 분야

· CMP 연마 PAD 표면 자동 후처리
· 반도체 공정용 PAD 재생·연마
· 대형 원형 디스크류 자동 사포 가공
· 정밀 연마재 후처리 자동화 라인

제품&솔루션

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